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瞬態(tài)(脈沖)激光波前畸變檢測干涉儀
瞬態(tài)(脈沖)激光波前畸變檢測干涉儀

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杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司

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瞬態(tài)(近紅外)激光波前畸變檢測干涉儀是將空間位相調(diào)制的共路剪切干涉技術(shù)與數(shù)字化波面高新計算技術(shù)相結(jié)合研制的新穎干涉系統(tǒng),是浙江大學光電系現(xiàn)代光學儀器重點實驗室、楊甬英等教授集多年基礎、數(shù)年攻關(guān)完成的目前國內(nèi)首臺利用干涉方法僅需單幅干涉圖就可以高分辨率檢測各類高、低功率的脈沖激光、連續(xù)光波前畸變、檢測各類高精度大口徑精密表面的面形、動態(tài)檢測各種流體的變化等。儀器抗噪、抗干擾性好特別適合于現(xiàn)場的實時檢測。波前及面形的檢測分辨率高,可高精度測量較大的波前畸變量,可以用于瞬態(tài)圖象高速采集及檢測。波前檢測軟件輸出信息量豐富、可適用于不同波段的可見光、紅外波段的檢測。經(jīng)權(quán)威單位與ZYGO干涉儀比對測試,近紅外脈沖激光波前畸變檢測的波前均方根已優(yōu)于1/15波長。瞬態(tài)激光波前畸變檢測干涉儀已達到國際先進、國內(nèi)**的**。

儀器技術(shù)指標:

1、應用波長:從紫外、可見光至中遠紅外波段(波長可根據(jù)用戶不同要求確定);

2、光束接收口徑:F10mm ~用戶任定口徑;

3、儀器精度及重復性:波前均方根優(yōu)于1/15波長;

4、測量范圍:波前畸變檢測量可達50 mm;

5、可用于脈沖光、連續(xù)光、各類精密表面面形測量:測量脈沖激光的脈寬可達1ns;

6、光學系統(tǒng)具有高激光損傷閾值;

7、高分辨率數(shù)據(jù)采集系統(tǒng):科學級CCD相機,空間分辨率至1024×1024以上或用戶定;

8、儀器利用共路剪切干涉技術(shù),抗振動性好,可放于任何工作臺現(xiàn)場使用;

9、光束波前診斷軟件包:

給出檢測波前位相(可以是光束波前、面形或流體的形變等)的三維圖形、等高圖、波前畸變的PV 值、均方根值、波面梯度值等;

給出表征光束能量分散度的Streh1比;光學系統(tǒng)象差的評價參數(shù)OTF和PSF;

軟件具有友好的圖形工作界面,工作于Windows 2000以上平臺,軟件有各類數(shù)據(jù)圖象及數(shù)據(jù)輸出功能。

應用范圍:

本儀器是動、靜態(tài)皆可檢測的系統(tǒng),可應用于航空、航天、航海及國民經(jīng)濟諸多領(lǐng)域:

1. 配備高速的CCD與圖象轉(zhuǎn)換系統(tǒng),可以檢測具有較大畸變、快速變化的氣體折射率密度場、高速繞流流場,獲取高速飛行體在各個瞬間狀態(tài)的三維流場的相關(guān)參數(shù)。并且可以應用于流體顯示技術(shù)、空氣動力學方面的研究。

2. 良好的抗振性特別適合于在車間、現(xiàn)場進行各類精密表面面形的分析測量、不同尺寸的光學元件、硅片、金屬表面面形、非球面等各類元件的精密檢測。

3. 可以檢測各類高能激光系統(tǒng)的靜態(tài)、動態(tài)波前畸變,特別為1053nm的近紅外脈沖波前檢測提供一個高精度、高分辨率的檢測結(jié)果。系統(tǒng)配備標準近紅外光源,可以檢測1053nm 波段的各類光學材料的透射特性參數(shù)。

圖2是系統(tǒng)軟件輸出界面。

圖3是已實際用于納秒級高能脈沖波前檢測的干涉圖。

圖4是納秒級高能脈沖波前重構(gòu)的三維圖。

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