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該系統(tǒng)需通過寬的頻率范圍且以納米分辨率來測量物體的移動。激光干涉振動計用于對宏觀和微觀物體的非接觸，

無反應(yīng)測量，頻率在0-2MHz，分辨率在納米范圍內(nèi)。這些系統(tǒng)很適合于需要分析難以達到的物體振動的應(yīng)用程序。

LSV激光干涉振動計系列

激光干涉振動計的設(shè)計是建立在邁克耳孫干涉儀的基礎(chǔ)之上的，在它里面，一束相干光纖分離成兩個

部分的光束：參考光束和測量光束。參考光束有固定的長度。測量光束集中在測量的表面，它的長度由

于測量物體的移動而改變。測量光束從被測量物體上反射出以后，兩個返回的局部光束相互干涉。它們

的相位差與測量物體的位移是相稱的，且測量也是可變的。這個測量可以追溯到國際長度標準，因為激光頻率充當(dāng)直線標度。

優(yōu)化的光學(xué)粗糙表面

激光干涉儀振動計是為測量光學(xué)粗糙表面優(yōu)化了的干涉儀。他們區(qū)別于其它長度測量干涉儀的*重要的特征，是它們在測量方位上有一個集中在測量光束上的鏡頭。從光學(xué)粗糙表面上的反射生成一個散斑圖。傳感頭是設(shè)計用來確保一個好的信號噪聲比，即使當(dāng)這樣一個散斑圖產(chǎn)生的時候。測量光束的聚焦把測量范圍限制到幾個mm，作為表面反射率的一個功能。

盡管如此，在振動測試中這通常不是個問題，因為測定的振動幅度通常更小。正常的位移測量也可以在有效的測量范圍內(nèi)進行。氦氖激光器被用來當(dāng)做長度和振動測量的光源，因為它們的特性例如相干性和頻率的穩(wěn)定性，對于度量衡是至關(guān)重要的。串聯(lián)LSV振動計的測量頭，通過光纖電纜耦合保持頭相當(dāng)小地或者免于熱輻射。傳感頭中的考面

鏡可以調(diào)節(jié)，以便簡化校準和提高性能。LSV系列的新特征是用一個變焦目標來聚焦測量光束，而不是以前傳統(tǒng)的

定焦鏡。這使得測量頭和測量點之間的距離領(lǐng)域自由選擇在20cm到2m.這可讓測量設(shè)置中有相當(dāng)大的靈活性，因此測試儀器可以用于一系列不同的應(yīng)用。

電子估算單元的設(shè)計

用來處理從測量頭接收到的干涉儀信號的氦氖激光器和電子設(shè)備被封裝在10英寸的估算單元里。信號處理，考面鏡和可變輸入放大器通過多微機系統(tǒng)和非?？斓目删幊绦蜻壿嬰娐穪砜刂?。估算單元有一個模塊結(jié)構(gòu)，所以測量系統(tǒng)可以通過添加各種各樣的信號處理卡靈活適應(yīng)一個應(yīng)用程序。兩個系列LSV傳感頭的評估可以封裝在一個19英寸的設(shè)備中。

數(shù)據(jù)捕捉可以和外部事項同時進行，這通過極短的延遲時間下利用觸發(fā)脈沖輸入完成。這也使得目標的相位響應(yīng)在一

個已知的激發(fā)下測量。

估算單元可以裝備有不同的接口卡以適應(yīng)預(yù)期的目標高速估算卡提供一個USB和一個RS232接口連接到電腦上。還有一個觸發(fā)輸入，外部激發(fā)源同步振動測量 。這個估算卡可以用來控制振動計的各種功能，還可以控制**采樣頻率

1MHz和**數(shù)據(jù)塊長32768值。用該卡進行交流的應(yīng)用程序接口對用戶來說是可行的。A DLL，一個矩陣實驗室圖書館

和相應(yīng)的模塊支持整合成獨立申請。并行接口卡使得解調(diào)的干涉儀信號作為一個數(shù)字的平行32位字來利用。 分辨率（字的*低有效位）相當(dāng)大約0.078nm。平行32位數(shù)值在一個很短的潛伏期內(nèi)有效的，并且可以在掃描速度達4MHz下讀出來。這個促進完全可能帶寬2MHz的利用。這個情況下，振動分析系統(tǒng)經(jīng)常提供傳感器的模擬輸入。模擬接口因此有一個模擬輸出，用來整合成這些系統(tǒng)。這使得傳統(tǒng)的振動傳感器很容易被激光干涉振動計所替代。串聯(lián) LSV振動計的動態(tài)范圍比傳統(tǒng)傳感器的測量范圍要大的多，就像合理支出下模擬分辨率的可實現(xiàn)。映射在模擬輸出上的測量范圍因而可以在七個階段選擇，以適應(yīng)不同的應(yīng)用領(lǐng)域。這個通常用前面板上的旋鈕完成，但是范圍也可以通過PC界面合適的軟件來轉(zhuǎn)換。重置模擬信號的追加輸入進一步簡化使用，總的來說，模擬接口卡以**輸出率10MHz來提供16位分辨率。盡管各種各樣的于激光干涉振動計有效的接口可以結(jié)合到幾乎每個測量系統(tǒng)中，經(jīng)驗證明大多數(shù)應(yīng)用包含PC軟件的單獨操作。INFAS-Vibro軟件通過USB或RS232接口或與高速并行接口振動計連用的DIO卡。軟件使得振動信號呈現(xiàn)出來，保存且處理。記錄原始信號使得測量無限制地離線分析。ASCII格式化數(shù)據(jù)的可配置出口使得初始和預(yù)加工能進一步加工處理。為融合進獨立的應(yīng)用中，INFAS Vibro可以由一個簡單的TCP-IP協(xié)議來控制。

無接觸機械振動的量測和分析

串聯(lián)LSV激光干涉振動計可以用在機械振動需要無接觸地分析和測量的所有領(lǐng)域。它與其他振動測量方法相比的主要優(yōu)勢是它的非接觸和無反應(yīng)操作方式， 以時間范圍內(nèi)小于1納米的距離分辨能力的大測量范圍，通過FFT增加到頻率范圍小于80微微米。當(dāng)然，頻率范圍從0Hz到電流**2MHz.振動光譜，自然頻率和振動模式也可以確

定。多坐標測量和微差測量可以再多系統(tǒng)援助下進行。

串聯(lián)LSV振動計的特別說明在真空運行時可能的，但是技術(shù)上很復(fù)雜。盡管如此，經(jīng)?？梢钥吹侥繕送ㄟ^真空室的一個窗戶測量，在真空室內(nèi)通過外置測量頭來測量。這使得真空下測量目標變得簡單。激光干涉振動計是對于要求精度，物體非接觸測量的所有應(yīng)用都非常寶貴的工具。非接觸操作模式在無需傳感器機械影響下，提供不同位置快速分析物體的方法。

該系統(tǒng)具有高精度和高分辨率，非常廣泛的頻率范圍等特性。由縮放目標擴大的可變測量范圍，評估電子設(shè)備的不同接口和綜合軟件支持，使串聯(lián)LSV振動計成為生產(chǎn)，質(zhì)保，研究和發(fā)展中一個重要的測量儀器。

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