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WCT-120PL產(chǎn)品分別采用標(biāo)準(zhǔn)QSSPC方法和光致發(fā)光法測量硅片的載流子壽命。 瞬態(tài)光電導(dǎo)衰減法（PCD）和熒光方法兩種互為補充。操作和使用起來和WCT120一樣方便。

wct-120pl系統(tǒng)能力

主要應(yīng)用：

通過使用QSSPC或短暫的壽命測量和PL測量制造過程監(jiān)控和優(yōu)化步驟。

其它功能：

?初始材料（硅片）質(zhì)量監(jiān)控

?（硅片）加工過程中的重金屬污染晶圓檢測

?評價表面鈍化和發(fā)射極的摻雜劑擴散

?使用隱含的VOC測量來查找生產(chǎn)過程引入的漏電因素

?迭代計算qsspl和QSSPC數(shù)據(jù)得到襯底摻雜情況

上圖是wct-120pl得到的一個校準(zhǔn)的熒光壽命曲線與一個校準(zhǔn)的QSSPC壽命曲線產(chǎn)生壽命數(shù)據(jù)的載流子密度對照曲線。

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