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體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller（meter））縮寫(xiě)為MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。

S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn)：

*閥體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和resistor等為重要零部件，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。

*適用于各種腐蝕性氣體

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn) *高精度 *重復(fù)性好 *響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠 *低壓降

*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。

*操作使用方便，可任意位置安裝

*便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。