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FR-Basic VIS/NIR基礎(chǔ)型膜厚儀（紫外/近紅外-高分辨率）光譜范圍：350-1000nm ： Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強度。 小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm)，分辨精度可達3648像素， 16位級 A/D 分辨精度；配有USB通訊接口； 光學(xué)連接器SMA 905， 光譜儀功率：110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz. 10mm厚度的氧化鋁面板，每英寸（25mm）間距，配有M6 (or ?”) 口徑鉆孔，用以安裝光學(xué)部件。 樣品放置臺，配有多點Z軸聚焦和X-Y軸移動調(diào)節(jié)。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm)，可在測試區(qū)域內(nèi)精調(diào)節(jié)。 Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng)， 可精確計算如下參數(shù)： 1）單一或堆積膜層的厚度； 2）靜態(tài)或動態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫，可以有效地協(xié)助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權(quán)，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用。 C) 參考樣片： a) 經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片； b) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片； c) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片； D) 反射光學(xué)探針 系統(tǒng)內(nèi)嵌6組透射光探針200μm， 1組反射光探針200μm； |
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