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應(yīng)用作為行業(yè)標準的儀器， 成功完成阻抗測量
全面的解決方案:公司的阻抗分析儀產(chǎn)品系列可測量的頻率范圍從 5 Hz 到 3 GHz，使您能在廣闊的范圍內(nèi)根據(jù)測量需求做出好的選擇。本選型指南概括性地向您介紹可以選擇的所有產(chǎn)品和附件。
適合應(yīng)用所需的頻率范圍:公司產(chǎn)品提供業(yè)界出色的性能，豐富的頻率選件可以經(jīng)濟的價格滿足您的需求。您可以選擇適合自身應(yīng)用的頻率范圍，也可以靈活選擇各種頻率升級選件。您可以用*少的投資只購買當(dāng)前所需的性能，而后再根據(jù)需求變化進行升級。
應(yīng)用范圍廣泛的先進測量技術(shù)
圖 1 是 LCR 表和阻抗分析儀所使用的不同測試技術(shù)的比較，正如您所看到的那樣，每一種技術(shù)都有其特別的測量優(yōu)勢:
自動平衡橋法的阻抗測量范圍*寬，典型的測量頻率在 20 Hz 到 110 MHz 之間，這項技術(shù)比較適用于低頻和通用的測試。
專業(yè)技術(shù)：公司在提供阻抗測量解決方案方面擁有幾十年的經(jīng)驗。常年的經(jīng)驗和持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新已經(jīng)融合到公司每種LCR表和阻抗分析儀的設(shè)計和生產(chǎn)制造過程當(dāng)中。公司還有大量相關(guān)的技術(shù)資料，幫助您更加正確高效的完成各種測量任務(wù)(這些資料的清單在第 15 頁列出)。
德科技阻抗分析儀/LCR 表測量技術(shù)比較 10% 精度范圍
圖 1. 阻抗分析儀/LCR 表的阻抗測量技術(shù)
表 1. 阻抗測量產(chǎn)品類型
產(chǎn)品類型 | |||
產(chǎn)品要點 | LCR 表 | 阻抗分析儀 | 網(wǎng)絡(luò)分析儀 |
掃頻測量功能 | 點/列表 | 連續(xù) | 連續(xù) |
(開始/停止， 中心/掃寬) | (開始/停止， 中心/掃寬) | ||
顯示 | 只有數(shù)字顯示方式 | 圖像 | 圖像 |
其他 | 機械手接口，比較器 | 內(nèi)置等效電路分析功能、 材料測量、在線測量 | 內(nèi)置等效電路分析功能， 在一臺儀表中實現(xiàn)多種測試功能 |
優(yōu)勢 | 低成本解決方案， 容易使用， 測試速度快 | *寬的測量范圍， 諧振分析， 電路建模 | 經(jīng)濟高效， 多功能， 儀表體積小 |
3. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
-I-V法適用的頻率范圍從 40 Hz 到 110 MHz，能夠測量的阻抗范圍要小一些，另外也適用于用探頭進行測量的在線測試。
-RF I-V法是I-V法的擴展，在I-V法所適用的阻抗測試范圍內(nèi)，又增加了網(wǎng)絡(luò)分析在高頻測量時所具有的一些優(yōu)點。RF I-V法是專為精確的分析和測量射頻器件的高頻特性而設(shè)計的，在測量小電感和小電容方面體現(xiàn)出優(yōu)越的性能。
-此外，公司的網(wǎng)絡(luò)分析儀提供了阻抗測量解決方案，綜合運用三種測量方法（反射、串聯(lián)直通和并聯(lián)直通）進行S參數(shù)和增益相位測量。
表2是公司所有阻抗測試產(chǎn)品的一個概括，這個表格可以幫助您對公司的各種儀表進行更好的比較，并使您能夠根據(jù)下面列出的幾方面的需要選出更能滿足應(yīng)用要求的解決方案：
-測試頻率范圍
-器件的類型或應(yīng)用的類型
-精度要求（測量技術(shù)）
-任何其他特殊要求
如果您覺得針對某一應(yīng)用要去存在著幾種可能的選擇，那么可以翻到相應(yīng)的頁碼去閱讀關(guān)于每種產(chǎn)品更加詳細的信息。
表2.公司阻抗測量產(chǎn)品一覽
產(chǎn)品類型 | 頻率范圍 | 應(yīng)用特性 | 產(chǎn)品型號 | 頻率范圍(Hz) | 基本阻抗精度 1 (%) | 測量結(jié)果顯示范圍 （Ω） | 特性 4 | 測量方法 5 | 主要應(yīng)用 |
阻抗分析儀 | RF | 高性能/材料/高溫度 | E4991B | 1 M 至 3 G | 0.65 | 120 m 至 52 k 3 | A、B | RF-IV | LCR 元件、材料測試和半導(dǎo)體測試 |
多功能 | E5061B選件3L5/005 | 5 至 3 G | 2(典型值) | 1 至 2 k/5 至20 k/1 m 至 5 3(典型值) | A、B | 反射/串聯(lián)/并聯(lián) | LCR 元件、PDN | ||
LF/HF | 高性能/材料/C-V | E4990A | 20 至 120 M | 0.08(0.045典型值) | 25 m 至 40 M 3 | A、B | ABB | LCR 元件、材料測試和半導(dǎo)體測試 | |
在線 (接地)、C-V | 配有42941A 的E4990A | 20 至 120 M | 1 | 50 m 至 4 M 3 | A、B | IV | 在線測試、半導(dǎo)體測試 | ||
LCR 表 | RF | 高性能/高速測量 | E4982A | 1 M 至 3 G | 0.8 | 140 m 至 4.8 k 3 | C | RF I-V | LCR 元件 |
HF | 高性能/材料/C-V | 4285A | 75 k 至 30 M | 0.1 | 0.1 至 10 M 3 | D | ABB | LCR 元件、材料測試和半導(dǎo)體測試 | |
LF | 高性能/材料/C-V | E4980A | 20 至 2 M | 0.05 | 4 m 至 100 M 3 | D | ABB | LCR 元件、材料測試和半導(dǎo)體測試 | |
專用儀表 | LF | 電容器/高速測量 | E4981A | 只有 120、1 k 和 1 M | 0.07 | 10 fF 至 2 mF 3 | D | ABB | MLCC |
1.基本阻抗精度是儀表工作在佳狀態(tài)下的值會隨測量條件的改變而改變， 詳細信息需要閱讀具體產(chǎn)品的技術(shù)資料。2. 只針對電容的測量3. 阻抗測量精度為 10% 的測試范圍。4.產(chǎn)品特性代碼的意義:A: 內(nèi)置等效電路分析B: 頻率掃描測試和彩色 LCD 顯示C: 點頻測試和彩色 LCD 顯示D: 點頻測試和普通 LCD 顯示5. 測量方法代碼的意義:ABB:自動平衡橋法 I-V:I-V 法 RF I-V: 射頻 I-V 法 Ref:反射法 Series: 串聯(lián) - 直通法 Shunt:并聯(lián) - 直通法
4. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
阻抗分析儀
阻抗分析儀具有 m? 至 M? 阻抗范圍和 5 Hz 至 3 GHz 頻率范圍，提供同類產(chǎn)品無法匹敵的測量精度。您可以選擇適合自身應(yīng)用的頻率范圍。
-可對頻率、直流偏置、交流電壓/電流的大小進行掃描，您可以自行決定在哪些測量條件下以何種方式得到測試結(jié)果
-內(nèi)置等效電路分析功能可以給被測件找出一個符合應(yīng)用條件的多元件電路模型
-先進的校準和補償方式可以顯著降低測量誤差
-多種夾具選擇滿足各種應(yīng)用需求: 材料介電常數(shù)和磁導(dǎo) 率、元器件高溫特性表征，各種無源器件，以及接地測量的阻抗探針等等
E4991B 阻抗分析儀
3 種頻率選件: 1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz，可升級
±0.65% 基本精度和?120?mΩ 至 52?kΩ 阻抗范圍 (10% 測量精度范圍)
測量參數(shù): |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc 1、Idc 1
內(nèi)置直流偏置 (選件 001): 0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA
10.4 英寸彩色 LCD 觸摸屏可顯示 4 個通道和 4 條軌跡
數(shù)據(jù)分析功能: 等效電路分析、極限線測試
介電/磁性材料測量 (選件 002)：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μrⅠ、μrⅡ、tanδ(μ)
提供溫度特征測量 (選件 007) 和可靠的晶圓上測量 (選件 010)
E4990A 阻抗分析儀
0 5 種頻率選件；20 Hz 至 10/20/30/50/120 MHz，可升級
0 ±0.08% (±0.045% 典型值) 基本阻抗測量精度
0 25?mΩ 至 40 MΩ 寬阻抗測量范圍 (10% 測量精度范圍)
0 測量參數(shù): |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、復(fù)數(shù)
Z、復(fù)數(shù) Y、Vac、Iac、Vdc、Idc
0 內(nèi)置直流偏置源: 0 V 至 ±40 V，0 A 至±100 mA
0 10.4 英寸彩色 LCD 觸摸屏可顯示 4 個通道和 4 條軌跡
0 數(shù)據(jù)分析功能: 等效電路分析、極限線測試
0 用 42941A 阻抗探頭 (僅選件 120) 可以進行在線器件或接地器件的測量
0 7 mm 測試夾具與 42942A 端子適配器 (僅選件 120) 配合使用
0 測量速度： 3 ms~/點 (選件 120)、30 ms~/點 (選件 10/20/30/50)
1 需要選件 001
5. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
網(wǎng)絡(luò)分析儀
E5061B-3L5 LF-RF 網(wǎng)絡(luò)分析儀
E5061B-3L5 低頻 - 射頻網(wǎng)絡(luò)分析儀在配備了選件 005 阻抗分析功能之后，可在一臺儀器內(nèi)提供網(wǎng)絡(luò)和阻抗分析功能。E5061B-3L5/005 是多功能和經(jīng)濟高效的解決方案，適用于需要測試各種電子元器件和電路的通用研發(fā)應(yīng)用:
0 S 參數(shù)測試端口 (5 Hz 至 3 GHz) 和增益－相位測試端口 (5 Hz 至 30 MHz、1?M Ω/50?Ω 輸入)
0 E5061B-005 支持使用 S 參數(shù)測試端口或增益相位測試端口的反射、串聯(lián)直通和并聯(lián)直通方法。這些方法是進行中低、中高、極低毫歐級阻抗測量的理想選擇 1
0 本公司 7 mm 型和 4 端子對型元器件測試夾具可用于反射法(在 S 參數(shù)測試端口) 和串聯(lián) - 直通法 (在增益 - 相位測試端口)
0 阻抗測量參數(shù): |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、C、L、D、Q
0 內(nèi)置直流電壓偏置電源 (0 至 ±40 V，**值 ±100 mA)
關(guān)于每種方法阻抗測量范圍的詳細信息， 請參見《配有選件 005 阻抗分析功能的 E5061B-3L5 低頻 - 射頻網(wǎng)絡(luò)分析儀技術(shù)資料》(5990-7033CHCN)。
6. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
LCR 表
本公司 LCR 表在可以承受的價格上為研發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用提供了出色的測量精度、速度和通用性。
寬頻率范圍: 20 Hz 至 3 GHz
頻率列表掃描，可實現(xiàn)在大量頻率點上進行的連續(xù)測試
在高低阻抗范圍內(nèi)都具有****的測量精度
提供廣泛的附件，適用于測試引線型元件、表面貼裝型元件、半導(dǎo)體和材料
測量速度快，可重復(fù)性高
機械手接口和料倉分選功能讓您非常容易地在生產(chǎn)環(huán)境中實現(xiàn)自動化測試
E4982A LCR 表
1、1MHz 至 3 GHz 頻率范圍，100 kHz 分辨率
2、高速測量: 可選擇 0.9 ms (模式 1)、2.1 ms (模式 2) 和 3.7 ms (模式 3)
3、0.8% 基本測試精度
4、使用射頻 I-V 法可測試非常寬的阻抗范圍 (0.14 Ω至?4.8?kΩ)
5、在測量低電感時測量結(jié)果可保持極高的穩(wěn)定度，并具有出色的 Q 精度，適用于片式電感器測試
6、機械手接口適用于生產(chǎn)測試
7、用戶可自行將測量參數(shù) |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、Rdc、Idc、Vdc 組合起來 (*多不超過 4 個參數(shù)) 進行測試
8、通用的 PC 連通性 (LAN、USB 和 GPIB)
4285A 精密 LCR 表
1、75 kHz 至 30 MHz
2、0.1% 基本測試精度
3、列表掃描測量
4、選件 001 增添了±40 V 直流偏置電壓
5、測量參數(shù): |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、C、L、D、Q
7. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
E4980A 精密 LCR 表
-20 Hz 至 2 MHz 頻率范圍，4 位分辨率
-對高低阻抗進行測量，可實現(xiàn)極高的測量可重復(fù)性和 0.05% 的基本測量精度
-測量時間 (1 MHz 時): 5.6 ms (短)，88 ms (中)，220 ms (長)
-選件 E4980A-001 增添了 ±20 Vrms/±100 mArms 測試信號、
±40 V/±100 mA 內(nèi)部直流偏置、第 2 個直流源以及 Vdc/Idc測量
-選件 201 和 301 分別增添了機械手接口和掃描儀接口
-測量參數(shù): |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、Rdc、 Vdc 1、Idc 1
-通用 PC 連通性—— LAN、USB (存儲器/USBTMC) 和 GPIB
E4980AL 精密型 LCR 表
-20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz 頻率范圍，4 位分辨率
-對高低阻抗進行測量，可實現(xiàn)極高的測量可重復(fù)性和 0.05% 的基本測量精度
-測量時間 (1 MHz 時): 12 ms (短)，118 ms (中)，343 ms (長)
-測量參數(shù): |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、Rdc
-通用 PC 連通性 ?LAN、USB (存儲器/USBTMC）和GPIB
1 需要選件 E4980A-001。
8. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
E4981A 120 Hz/1 kHz/1 MHz 電容表
-120 Hz、1 kHz 和 1 MHz 測試頻率
-高速測量: 2.3 ms (1 MHz)、3.0 ms (1 kHz)、11.0 ms (120 Hz)
-基本精度: C: 0.07%，D: 0.0005
-機械手和掃描儀接口適用于生產(chǎn)測試
-測量參數(shù): C、D、Q、ESR、G
-SLC 特性為高容值電容器測量提供恒定的測試電壓
9. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
材料介質(zhì)損耗測試儀測試夾具和附件 (4 端子對)
zui佳的測試夾具
16034E SMD/片狀測試夾具16034G 小型 SMD/片狀測試夾具16034H SMD/片狀測試夾具
頻率：≤40 MHz 頻率：≤120 MHz 頻率：≤120 MHz
**直流偏置: ±42 V **峰值 **直流偏置:±42 V **峰值 **直流偏置: ±42 V **峰值
16044A SMD 開爾文觸頭測試夾具16334A SMD/片狀器件鑷子16047A 軸向和徑向測試夾具
頻率:≤10 MHz 頻率:≤?15 MHz 頻率: A:≤13 MHz (開爾文觸頭)
**直流偏置: ±42 V **峰值 **直流偏置: ±42 V **峰 **直流偏置: A: ±42 V **峰值
16047E 測試夾具16089A/B/C/D 片狀延長電纜
頻率:≤120 MHz 線夾類型: A/B/C: 開爾文
**直流偏置: ±42 V **峰值D: 鱷魚夾
頻率: 5 Hz 至 100 kHz
電纜長度: A/B/C/D: 0.94 m
E: 1.3 m
**直流偏置:±42 V **峰值
測試夾具和附件 (4 端子對)
外部直流偏置夾具
16065A 帶有保護罩的軸向和徑向測試夾具16065C 外部偏置適配器
頻率: 50 Hz 至 2 MHz 頻率: 100 Hz 至 1 MHz
**外部直流偏置:±200 V **外部直流偏置:±40 V
5.6?μF 隔直流電容器與 Hc 端子串聯(lián)50?μF 隔直流電容器與 Hc 端子串聯(lián)
測試延長電纜
16048A/D/E BNC 測試延長電纜16048G/H BNC 測試延長電纜
頻率: A:≤30 MHz，D:≤30 MHz， 頻率:≤120 MHz
E: ≤ 2 MHz 電纜長度: G: 1 m，H: 2 m
電纜長度: A: 0.94 m，D: 1.89 m，E: 3.8 m **直流偏置: ±42 V **峰值
**直流偏置: ±42 V **峰值 僅與 4294A/E4990A 配合使用
測試延長電纜
42942A 4 端子對至 7 mm 端子適配器
頻率:≤120 MHz
**直流偏置: ±42 V **峰值
僅與 4294A/E4990A 配合使用
11. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
測試夾具和附件 (4 端子對)
材料測量其他
16451B 電介質(zhì)測試夾具16452A 液體測試夾具 42941A 阻抗探頭套件
測量參數(shù): 測量參數(shù): 頻率:≤120 MHz
電容 (C)、耗散系數(shù) (D) 和介電常數(shù) (εr'、εr'') 電容 (C)、介電常數(shù) (εr'，εr'') **直流偏置:?42 V **峰值
被測材料尺寸: 液體樣本體積:≤6.8 ml 探頭電纜長度: 1.5 m
厚度:≤10 mm 頻率: 20 Hz 至 30 MHz 僅與4294A/E4990A配合使用
直徑: 10 至 56 mm頻率:≤30 MHz
測試夾具和附件 (7 mm 端子)
射頻 SMD/片狀器件
16196A/B/C/D SMD 測試夾具16197A 底電極 SMD 測試夾具16092A 軸向、徑向和 SMD 測試夾具
為平行電極 SMD 設(shè)計的同軸夾具 頻率: 直流至 3 GHz 頻率:≤500 MHz
頻率: 直流至 3 GHz **直流偏置: ±42 V **峰值 **直流偏置: ±42 V **峰值
**直流偏置: ±42 V **峰值
適用的 SMD 尺寸:
16196A: 1.6 mm x 0.8 mm
16196B: 1.0 mm x 0.5 mm
16196C: 0.6 mm x 0.3 mm
16196D: 0.4 mm x 0.2 mm
12. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
16192A 平行電極 SMD 測試夾具16194A 高溫元件測試夾具16200B 外部直流偏置適配器
頻率: 直流至 2 GHz 頻率: 直流至 2 GHz 頻率: 1 MHz 至 1 GHz
**直流偏置:±42 V **峰值 **直流偏置:±42 V **峰值 **外部直流偏置: 高達 5 A，±40 V
材料測量
16453A 電介質(zhì)測試夾具16454A 磁性材料測試夾具
頻率: 1 MHz 至 1 GHz 頻率: 1 kHz 至 1 GHz
樣本尺寸 (只計算平面部分): 樣本大小 (僅包含環(huán)形線圈):
厚度: 0.3 mm 至 3 mm 高:≤8.5 mm
直徑:≥15 mm 內(nèi)徑:≥3.1 mm 外徑:≤20 mm
測試夾具和附件 (E5061B)
16201A N 型至 7 mm 端子適配器
頻率:≤3 GHz
**直流偏置: ±40 V
只與E5061B配套使用
13. LCR 表、阻抗分析儀和測試夾具－選型指南
材料介質(zhì)損耗測試儀利用公司測試附件， 簡化并改善您的測量
選擇測試夾具和選擇合適的測試設(shè)備一樣重要。公司提供大量附件，用于軸向、徑向和 SMD/片狀器件的測試。此外，公司還提供了各種測試延長電纜，用來簡化遠程測試和系統(tǒng)應(yīng)用，以及帶有保護罩的外部測試夾具。
合適的測試夾具，可以從以下幾方面改善您的測量結(jié)果:
更可靠和可重復(fù)的測量結(jié)果
更高的測試吞吐量
更少的操作錯誤
更嚴格地滿足測試指標的限制
更高的測量精度
表3.測試附件/夾具 | EA980A/AL | 4285A | E4981A | E4982A | E4990A選件120 | E4990-A選件010/020/030/050 | E4991B | E5061B選件3L5/005 | ||
16034E | SMD/片狀器件測試夾具 | DC-40MHz | • | • | • | • | • | • | ||
16034G | 小型SMD/片狀器件測試夾具 | DC-1200MHz | • | • | • | • | • | • | ||
16034H | 適用于測試陣列型器件的SMD/片狀器件測試夾具 | DC-1200MHz | • | • | • | • | • | |||
16044A | SMD/片狀器件測試夾具，開爾文觸頭 | DC-10MHz | • | • | • | • | • | |||
16047A | 軸向/徑向測試夾具 | DC-13MHz | • | • | • | • | • | |||
16047E | 軸向/徑向測試夾具 | DC-120MHz | • | • | • | • | • | |||
16048A | 1米測試延長電纜，BNC | DC-30MHz | • | • | • | |||||
16048D | 2米測試延長電纜，BNC | DC-30MHz | • | • | • | • | ||||
16048E | 4米測試延長電纜，BNC | DC-2MHz | ||||||||
16048G | 1米測試延長電纜，BNC | DC-120MHz | • | • | ||||||
16048H | 2米測試延長電纜，BNC | DC-120MHz | • | • | ||||||
16065A | 帶保護罩的外接電壓偏置源（≤200Vcd） | 50Hz-2MHz | • | • | • | • | • | |||
16065C | 外接偏置適配器（≤40Vcd） | 100Hz-1MHz | • | • | • | |||||
16089A/B/C/D | 開爾文接線柱延長電纜 | 5Hz-100MHz | • | • | • | • | • | |||
16092A | 射頻彈簧接線柱：軸向、徑向和SMD | DC-500MHz | •1 | •2 | • | •3 | ||||
16192A | 平行電極SMD測試夾具 | DC-2GHz | •1 | •2 | • | •3 | ||||
16194A | 高溫原件測試夾具 | DC-2GHz | •1 | •2 | • | •3 | ||||
16196A/B/C/D | 平行電極SMD測試夾具 | DC-3GHz | •1 | •2 | • | •3 | ||||
16197A | 底電極SMD測試夾具 | DC-3GHz | •1 | •2 | • | •3 | ||||
16200B | 外部直流偏置適配器 | 1MHz-1GHz | •1 | •2 | • | •3 | ||||
16201B | N型至7mm端子適配器 | 5Hz-3GHz | • | |||||||
16334A | SMD/片狀器件鑷子 | DC-15MHz | • | • | • | • | • | |||
16451B | 電介質(zhì)材料測試夾具 | DC-30MHz | • | • | • | • | • | |||
16452A | 液體測試夾具 | 20Hz-30MHz | • | • | • | • | ||||
16453A | 電介質(zhì)材料測試夾具 | 1MHz-1GHz | •4 | |||||||
16454A | 磁性材料測試夾具 | 1kHz-1GHz | •2 | •4 | ||||||
42941A | 阻抗探頭套件 | DC-120MHz | • | |||||||
42942A | 4端子對到7mm適配器 | DC-120MHz | • | |||||||
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