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AccuFlux 工藝監(jiān)控儀是非侵入式在線束流監(jiān)控儀并配有原子吸收譜儀。利用各元素特定的照射燈，AccuFlux 還可測量固態(tài)源及氣態(tài)源的氣相束流密度。此監(jiān)控儀可同時監(jiān)控4種材料。獨特的光學和電子設計，使速率精度<0.002nm/s。AccuFlux 具有自參考和自對準功能，即使儀器出現(xiàn)移位也不會影響監(jiān)測。
AccuFlux 工藝監(jiān)控儀可用在MBE及MOCVD上測量絕大多數(shù)材料。遠程控制裝置做為可選部件，是生產(chǎn)型應用的理想選擇。此裝置可提供擋板及源控制的信息實時反饋。不論生長設備上源（cell）的結構設計是線型還是共焦型，AccuFlux都可以使用。每種材料具有獨特的光源，因此該監(jiān)控儀可在過壓環(huán)境下使用，例如GaAs，CIGS及氧化物的生長。
●創(chuàng)新的光學設計，能夠檢測速率*低為0.002nm/s
●針對各元素的高強度燈源
●可對固態(tài)及氣態(tài)源進行束流監(jiān)控
●遠程控制可選，能夠實現(xiàn)閉環(huán)控制
●可以同時監(jiān)控4種材料
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