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SUSS蘇斯光刻機用曝光燈HBO 200W/DC ，HBO 350W/S， HBO 1000W/D， HBO 5000W/S

詳細介紹

SUSS Micro Tecv美國蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)用光刻機，目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同，該系列光刻機曝光系統(tǒng)的曝光燈，主要是由德國歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列，具備良好的光通量，穩(wěn)定的光強度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機配套的相關(guān)參數(shù)如下：

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

適用SUSS蘇斯光刻機型的曝光燈

燈管型號 壽命（H） 適用SUSS蘇期光刻機型

HBO 200W/DC 1000H MJB3， MJB4

HBO 350W/S 600H MA4， MA6， MA8， MA150， MJB3， MJB21，UV300/500

HBO 1000W/D 1000H MA150，MA200，MA4，MA6， MA8

HBO 5000W/S 1000H MA300

以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù)，適用于SUSS蘇斯光刻機型：

其它相關(guān)SUSS蘇斯設(shè)備業(yè)務(wù)也可以咨詢我們，合作愉快，謝謝!