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TESCAN電鏡質(zhì)譜FIB-SEM-TOF-SIMS聯(lián)用系統(tǒng)
TESCAN電鏡質(zhì)譜FIB-SEM-TOF-SIMS聯(lián)用系統(tǒng)

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TESCAN 電鏡質(zhì)譜 FIB-SEM-TOF-SIMS 聯(lián)用系統(tǒng)

電子顯微分析是材料和生命科學(xué)微觀分析中*重要的一環(huán),而元素分析是其中*重要的表征手段之一,但標(biāo)準(zhǔn)的分析手段如能譜儀和波譜儀存在很多不足,例如因靈敏度不足、空間分辨率較差,無(wú)法進(jìn)行輕元素、微量元素的分析,無(wú)法分辨同位素等等,普通的分析手段已不能滿足現(xiàn)階段應(yīng)用的需求。

TESCAN 提供的解決方案是將飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜與 FIB-SEM 系統(tǒng)集成。這種組合能夠?yàn)橛脩籼峁┕腆w材料的 3D 化學(xué)表征和分子信息,高離子質(zhì)量分辨率和高空間分辨率成像等,并可以進(jìn)行原位 FIB 深度分析。

飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS

TOF-SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) 是具有極高分辨率的質(zhì)譜儀,工作原理是用聚焦離子束照射樣品表面,從而在樣品*上層的原子層激發(fā)出二次離子 (SI),再根據(jù)不同質(zhì)量的二次離子飛行到探測(cè)器的時(shí)間不同來(lái)測(cè)定離子質(zhì)量。

與 EDX 相比,TOF-SIMS 可以實(shí)現(xiàn)更好的橫向和縱向分辨率,還可以識(shí)別并定量樣品表面層中存在的元素和分子物質(zhì),以及具有類似標(biāo)稱質(zhì)量的同位素和其他物質(zhì)等。

系統(tǒng)主要優(yōu)勢(shì):

ü 高靈敏度,Be,B和Li之類的輕元素檢出限可達(dá)ppm級(jí)

ü 優(yōu)異的空間分辨率,橫向分辨<40nm,縱向分辨率<15 nm

ü 正負(fù)離子均可檢測(cè),離子質(zhì)量分辨率>800

ü 2維和3維快速、高離子質(zhì)量分辨率和高空間分辨率成像,進(jìn)行原位FIB深度分析

ü 通過(guò)坐標(biāo)轉(zhuǎn)移,保證不同儀器分析位置的重合

應(yīng)用案例:

1. 輕元素及微量元素分析:Li 離子電池中 LI+ 面分布分析

2. 通過(guò)低電壓和小束流 FIB 逐層減薄,成功區(qū)分出厚度為 2.5 nm 的摻有 0~15% 的 In 元素的 GaN 層

3. 金屬?gòu)?fù)合材料中微量元素的晶界偏析測(cè)定,檢出限可達(dá) ppm 級(jí)

4. 對(duì)鈾礦石進(jìn)行初期的同位素分析,快速得到 238U 和 235U 的分布信息

關(guān)于TESCAN

TESCAN發(fā)源于全球**的電鏡制造基地-捷克Brno,是電子顯微鏡及聚焦離子束系統(tǒng)領(lǐng)域全球知名的跨國(guó)公司,有超過(guò)60年的電子顯微鏡研發(fā)和制造歷史,是掃描電子顯微鏡與拉曼光譜儀聯(lián)用技術(shù)、聚焦離子束與飛行時(shí)間質(zhì)譜儀聯(lián)用技術(shù)以及氙等離子聚焦離子束技術(shù)的開(kāi)拓者,也是行業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)***。

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