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儀器簡介：

EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用**技術(shù)的SIMS 探針，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學(xué)研究反應(yīng)室。

技術(shù)參數(shù)：

應(yīng)用：

· 靜態(tài) /動(dòng)態(tài)SIMS

· 一般目的的表面分析

· 整體的前端離子源，便于RGA和 SNMS

· 兼容的離子槍/ FAB 槍

· 成分/污染物分析

· 深度分析

· 泄漏檢測

· 與Hiden SIMS 工作站兼容

主要特點(diǎn)：

· 高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器，7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍

· SIMS 成像，分辨率在微米以下

· 光柵控制，增強(qiáng)深度分析能力

· 45°靜電扇形分析器， 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.

· 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的*小擾動(dòng)，及恒定離子傳輸

· 差式泵3級(jí)過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu

· 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器

· Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)

· 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制