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日本ULVAC公司經(jīng)多年的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)的積累，研制開發(fā)HPS-N系列電子束蒸發(fā)電源.和電子槍控制器單元，

整體電路運(yùn)行穩(wěn)定而安全.抗干擾能力強(qiáng).可同時(shí)對(duì)應(yīng)光學(xué)膜及金屬膜.

BEB Power Generator(電子槍電源)

1不需用冷卻水冷卻.

采用強(qiáng)制空冷方式，不需要冷卻水.

2高可靠性

通過安裝的整機(jī)設(shè)備后實(shí)際使用效果反饋總結(jié).

3高速異常放電遮斷重啟功能.

采用半導(dǎo)體控制開關(guān).針對(duì)異常放電，具有快速遮斷，重啟，.

起到保護(hù)電源的功能.可并保證蒸發(fā)工藝維持穩(wěn)定而高速.

用途:

金屬膜，LED電極，配線膜等真空蒸鍍.

光學(xué)膜TiO2，ZrO2，Ta2O5，防反射膜，絕緣膜，功能膜SiOx，阻隔膜SiN，柵介質(zhì)AL2O3，

透明導(dǎo)電ITO，ZnO膜的真空蒸鍍..

參數(shù):

型號(hào)HPS-600NHPS-1000N

相數(shù)，頻率三相 50/60Hz〃

輸輸入電壓AC200～220V〃

入變動(dòng)范圍AC190～231V〃

規(guī)輸入一源9.0kVA以下14.0kVA以下

格容量兩源10.0kVA以下15.0kVA以下

漏溢電流各相5mA以內(nèi)〃

額定輸一源6kW10kW

出電力兩源6kW(兩源合計(jì))10kW(兩源合計(jì))

輸高壓可調(diào)范圍-2kV～-6kV-4kV～-10kV

出輸出穩(wěn)定率±1%以內(nèi)〃

規(guī)電壓脈動(dòng)率±2%p-p以內(nèi)(在各個(gè)額定輸出)

格Beam可調(diào)范圍0～1000mA0～1000mA

電流變動(dòng)率±2%以內(nèi)(在各個(gè)額定輸出)

燈絲用電壓0～6V/12VAC〃

輸出電流0A～45Amax〃

高壓動(dòng)作方式半導(dǎo)體元件開關(guān)方式

閃斷高壓閃斷時(shí)間1ms以內(nèi)(機(jī)械性斷路約1秒斷高壓)

保護(hù)休止時(shí)間10ms以內(nèi)〃

高壓?jiǎn)?dòng)時(shí)間1ms以內(nèi)(額定20%至80%)

冷卻方式強(qiáng)制風(fēng)冷.〃

外形尺寸494mmW x 701mmD x 712mmH

上記尺寸不含按鍵，接口等突起部份

重量115kg120kg