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HM5-160全自動(dòng)檢測系統(tǒng)品牌
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1、高速度、高精度測量系統(tǒng)。 2、**160mm*160mm范圍自動(dòng)測量。 3、重復(fù)測量精度≦0.5μm。 4、適用高反光、高透光材料。 5、數(shù)據(jù)重復(fù)測量的一致性。 6、測量膜厚、線寬、平面度等。
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