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采用**Si-Fusion**，可實現(xiàn)硅與硅之間的熔接，各部件熔接形成的硅舟可應(yīng)用在1100-1200℃的高溫處理工藝和CVD-Poly沉積工藝。
技術(shù)優(yōu)勢
1.可進行硅舟結(jié)構(gòu)的定制化設(shè)計，包括溝棒形狀，溝齒長度、形狀、傾斜角度，以及硅舟的總載片量。
2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷，提升制程良率。
3.熔接硅舟可以對損壞部件進行更換，降低持有成本。
4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限，可以有效減少設(shè)備PM頻率，提升產(chǎn)能。
暫無數(shù)據(jù)！
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