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　源瓶(起泡器)用于固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)超純物料類的封裝，涉及微正壓、常壓、中低壓的危險(xiǎn)化學(xué)品，所以對(duì)源瓶的安全性和潔凈度提出嚴(yán)苛的要求。

　　源瓶特點(diǎn)：

　　1、所有管件采用316L不銹鋼，內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光，Ra≦0.25微米;

　　2、閥門有美國(guó)世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國(guó)TK隔膜閥供選擇;

　　3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片;

　　4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;

　　5、可盛裝化學(xué)品純度≧99.9995;

　　6、總殘余元素量≦50PPb;

　　7、墜落試驗(yàn)，通過國(guó)家商檢部門檢測(cè);

　　8、介質(zhì)，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;

　　9、可選擇氣動(dòng)閥門或者實(shí)現(xiàn)在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等;

　　10、可提供非標(biāo)定做。