功率（kw）：
-重量（kg）：
-規(guī)格外形（長*寬*高）：
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靜電吸盤，是一種適用于大氣或真空環(huán)境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運設備的總稱。業(yè)內(nèi)簡稱為ESC或E-CHUCK，靜電吸盤所使用的靜電吸附技術(shù)是一種替代傳統(tǒng)機械夾持、真空吸附方式的優(yōu)勢技術(shù)，在半導體、面板顯示、光學等領(lǐng)域中有著廣泛應用。
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