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隨著社會的不斷進步，世界已進入信息化時代。而信息技術(shù)的快速發(fā)展成功推進了科學技術(shù)的發(fā)展和國民經(jīng)濟的跨越。信息技術(shù)包括了測量技術(shù)、計算機技術(shù)和通信技術(shù)，其中測量技術(shù)是關(guān)鍵和基礎(chǔ)。所以我們可以說，儀器儀表（特別是測量行儀器儀表）是信息產(chǎn)業(yè)的源頭的重要組成部分。

以高反射曲面零件的超精密加工來說，準確測量和評價加工件，對提高加工件表面的質(zhì)量和產(chǎn)品性能具有重要意義。但現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點，而單一的光學非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。

中圖儀器SuperView W1非接觸式輪廓測量儀一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，可快速實現(xiàn)超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)指標

產(chǎn)品性能特征

1、高精度、高重復性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng)，能夠保證高測量精度，還有能夠有效隔離2Hz頻率以上絕大部分振動的隔振系統(tǒng)，能保證測量結(jié)果的測量重復性。

2、一體化操作的測量分析軟件

測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，便于用戶實時觀察掃描過程的可視化窗口、結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程，實現(xiàn)了快速批量測量的功能；

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

（1）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設(shè)備和產(chǎn)品，也守護每一分價值和信任。

（2）軟件防撞保護ZSTOP

ZSTOP，顧名思義，就是軟件設(shè)置在Z軸上的停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

中圖儀器SuperView W1非接觸式輪廓測量儀實現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。廣泛應(yīng)用于如航空航天、納米材料、半導體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中，可以說只有非接觸式輪廓測量儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。