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BTF-1200C-S-SL-PECVD品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽樣本
暫無非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛：
真空溫控精度：
±1℃最高溫度：
1200℃額定溫度：
1100℃看了小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的用戶又看了
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一、設(shè)備簡介
我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。該款設(shè)備是全自動Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD），系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)滑動溫區(qū)，連續(xù)可控制溫度及Plasma強(qiáng)度。PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：
1、電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。
2、通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡單
二、主要基本參數(shù)
1、加熱系統(tǒng)
使用溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ50mm |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定。 |
加熱長度 | 230mm |
恒溫長度 | 100mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、PE系統(tǒng)
功率輸出范圍 | 0W~150W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機(jī)效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm （可根據(jù)用戶要求定制） |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
壓力 | ≤3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
4、低真空機(jī)組
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V |
抽氣速率 | 10m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa（空載冷態(tài)） |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
暫無數(shù)據(jù)！
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貝意克攜前沿科技，亮相上海第八屆國際碳材料大會暨產(chǎn)業(yè)展覽會現(xiàn)場！本次展會將于12月5-7日在上海新國際博覽中心W1、W2館盛大舉行，來自全球的500多家行業(yè)企業(yè)齊聚上海，涵蓋金剛石、培育鉆石、石墨烯、
后摩爾定律時代推動了碳基電子晶體管的快速發(fā)展。5G通信和云計(jì)算促進(jìn)了基于碳納米管的場效應(yīng)晶體管在電子設(shè)備中的應(yīng)用。本文將重點(diǎn)關(guān)注碳基電子領(lǐng)域的最新研究熱點(diǎn)，包括高頻晶體管、生物醫(yī)學(xué)傳感器和制動器、腦機(jī)
小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的工作原理介紹？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的使用方法？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)多少錢一臺？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)使用的注意事項(xiàng)小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的說明書有嗎？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的報價含票含運(yùn)費(fèi)嗎？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)包安裝嗎？
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