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面議型號
OTF-1200X-50S-PE品牌
科晶產(chǎn)地
安徽樣本
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小型PECVD管式爐系統(tǒng)
型號：
OTF-1200X-50S-PE
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)（PECVD）。該設(shè)備配有等離子射頻電源，開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個直聯(lián)式雙旋機械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng)，且設(shè)備性價較為理想。
| 設(shè)備名稱 | 小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE （2019.12.23—科晶實驗室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 |
| 產(chǎn)品特點 | ? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ? 整套設(shè)備尺寸小巧； ? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計量； ? 可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應(yīng)力。 |
| 加熱爐參數(shù) | ? **溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃； ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。
更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 |
| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。 |
| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍: ? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。
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| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重：75 kg |
| 認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
暫無數(shù)據(jù)！
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