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氮化硅陶瓷燒結裝備的
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氮化硅陶瓷燒結裝備的主要配置如下:

爐門:側開門,臺車裝出料

爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:石墨保溫或金屬保溫

加熱器:石墨或鉬加熱體

工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產(chǎn)

真空泵和真空計:進口/國產(chǎn)

人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機

PLC:霍尼韋爾DCS控制器、西門子PLC、歐姆龍PLC

控溫:霍尼韋爾DCS控制器、日本導電儀表、霍尼韋爾儀表、歐陸儀表

熱電偶:WRW-2300或紅外

電器元件:天正/正泰/施耐德/西門子

氮化硅陶瓷燒結裝備的規(guī)格:

氮化硅陶瓷燒結裝備(圖1)


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