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ZL650型多晶硅鑄錠爐技術(shù)指標(biāo) | |
硅錠尺寸 | 840mm×840mm×390mm |
生產(chǎn)率 | 600kg～650kg/爐 |
生產(chǎn)周期 | ～70hr,產(chǎn)能～7.5MW/年 |
**溫度 | 1600℃ |
常用工作溫度 | 1560℃ |
硅錠生長(zhǎng)速率 | 1.2-1.4cm/hr |
爐內(nèi)極限真空度 | 1Pa |
系統(tǒng)漏率 | <0.0075Pa.m3/s |
氬氣 | ～100m3/錠 |
冷卻水 | 約140L/min |
額定加熱功率 | 165kW |
每爐加熱器功耗 | ～4000度（投料650kg） |
其他能耗 | ～500度 |
單位能耗 | ～7度/kg |
鑄錠良率 | 平均大于70%（正常配料） |
轉(zhuǎn)換效率 | 17.4%-17.6% |
準(zhǔn)單晶生產(chǎn)能力 | 具備 |
高效多晶生產(chǎn)能力 | 具備 |
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